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測試儀的基本原理仍然是恒流源給探針頭14探針提供穩(wěn)定的測量電流I由DVM1監(jiān)測，探針頭23探針測取電位差V由DVM2測量，由下式即可計算出材料的電阻率厚度小于4倍探針間距的樣片均可按下式計算式中VDVM2的讀數，mVIDVM1的讀數，mAW被測樣片的厚度值以cm為單位FWS四探針電阻測試儀原理；
